Client Data
半導体関連メーカー
使用バネ:皿ばね
期間:2か月間
研究開発の半導体関連装置に採用された耐熱皿ばね
東海バネ工業は情報通信・電気電子業界のお客様への長年にわたる納入実績からこの業界のための独自の製造技術を有しています。耐熱環境での使用や小スペースで高荷重が求められる用途、研究開発用途の超小ロットのばねなどを必要とするお客様に当社の皿ばねが活躍します。
顧客が半導体製造装置関連の試作案件で、350℃以上の環境下で小スペース高荷重を発生させることができるバネを探しておりました。
まず、350℃以上の環境でばねとして機能し、かつ小スペースで高荷重という条件にあうものとして、材質はインコネル、ばねの品種は皿ばねを選定しました。さらに、顧客が求める荷重特性やばねが設置可能なスペースの条件から、サイズ、形状を検討していき仕様を提案しました。耐熱鋼であるインコネルを選定するにあたって、ばねとしての高温環境下での許容応力は一般的なデータとしては存在しないため、当社がこれまでの実績や研究から導き出した耐熱鋼の皿ばねの実験データをもとに、応力評価を行いました。
当社から設計提案した皿ばねを顧客の試作装置に組み込まれ、問題なくご使用いただいております。